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潔凈實驗室建設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)
潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為潔凈室。博泰小編帶大家了解潔凈實驗室建設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)有哪些:
一、潔凈室用途
空氣潔凈室:已經(jīng)建造完成并可以投入使用的潔凈室(設(shè)施)。它具備所有有關(guān)的服務(wù)和功能。但是,在設(shè)施內(nèi)沒有操作人員操作的設(shè)備。
靜態(tài)潔凈室:各種功能完備、設(shè)定安裝妥當(dāng),可以按照設(shè)定使用或正在使用的潔凈室(設(shè)施),但是設(shè)施內(nèi)沒有操作人員。
動態(tài)潔凈室:處于正常使用的潔凈室,服務(wù)功能完善,有設(shè)備和人員;如果需要,可從事正常的工作。
二、分類
亂流式空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室,并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。
定義:氣流以不均勻速度不平行流動、伴有回流或渦流的潔凈室。
原理:亂流潔凈室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣,將污染空氣逐漸稀釋,來實現(xiàn)潔凈的(亂流潔凈室一般設(shè)計在千級以上至30萬級凈化級別)。
特性:亂流潔凈室是靠多次換氣來實現(xiàn)潔凈與潔凈級別。換氣次數(shù)決定定義中的凈化級別(換氣次數(shù)越多,凈化級別越高)
(1)自凈時間:是指潔凈室按設(shè)計換氣次數(shù)開始送風(fēng)到潔凈室,室內(nèi)含塵濃度達(dá)到所設(shè)計的凈化級別的時間。 1,000級希望不超過20min(分鐘) (可取15min計算) 10,000級希望不超過30min(分鐘) (可取25min計算) 100,000級希望不超過40min(分鐘) (可取30min計算)
(2)換氣次數(shù)(按上述自凈時間要求設(shè)計)1,000級 43.5—55.3次/小時 (規(guī)范:50次/小時) 10,000級23.8—28.6次/小時 (規(guī)范:25次/小時) 100,000級 14.4—19.2次/小時 (規(guī)范:15次/小時)
優(yōu)點:構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本,潔凈室之?dāng)U充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高潔凈室等級。
缺點:亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再激活,欲達(dá)需求之潔凈度,往往須耗時相當(dāng)長一段時間。
層流式
層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形,空氣由覆蓋率100%之過濾器進(jìn)入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng),此型式適用于潔凈室等級需定較高之環(huán)境使用,一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種:
(1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng),塵埃隨風(fēng)向排出室外,一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。
優(yōu)點:構(gòu)造簡單,運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。
缺點:建造費用比亂流式高,室內(nèi)空間不易擴充。
(2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區(qū)域。
優(yōu)點:管理容易,運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài),不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
缺點:構(gòu)造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當(dāng)占空間,維修更換過濾器較麻煩。
復(fù)合式
復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。
(1)潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。
此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工作及品質(zhì),ULSI制程大都采用此種型式。
潔凈隧道另有二項優(yōu)點:A.彈性擴充容易; B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
(2)潔凈管道(Clean Tube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動化生產(chǎn)線為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。
(3)并裝局部潔凈室(Clean Spot):將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺、潔凈棚、裝配式潔凈室、潔凈衣柜即屬此類。
潔凈工作臺:等級Class 1~100級。
潔凈棚:為在亂流式之潔凈室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,采用獨立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機組而成為一較高級之潔凈空間,其等級為10~1000級,高度在2.5米左右,覆蓋面積約10m2以下,四支支柱并加裝活動輪,可為彈性運用。
三、潔凈室按用途分類
工業(yè)潔凈室
以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染,內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。它適用于精密機械工業(yè)、電子工業(yè)(半導(dǎo)體、集成電路等)宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)(光盤、膠片、磁帶生產(chǎn))LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。
生物潔凈室
主要控制有生命微粒(細(xì)菌)與無生命微粒(塵埃)對工作對象的污染。又可分為;
A、 一般生物潔凈室:主要控制微生物(細(xì)菌)對象的污染。同時其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌劑侵蝕,內(nèi)部一般保證正壓。實質(zhì)上其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌處理的工業(yè)潔凈室。例:制藥工業(yè)、醫(yī)院(手術(shù)室、無菌病房)食品、化妝品、飲料產(chǎn)品生產(chǎn)、動物實驗室、理化檢驗室、血站等。
B、 生物學(xué)安全潔凈室:主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內(nèi)部要保持與大氣的負(fù)壓。例:細(xì)菌學(xué)、生物學(xué)、潔凈實驗室、物物工程(重組基因、疫苗制備)。
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高校實驗室安全標(biāo)準(zhǔn)化建設(shè)要求
高校實驗室是開展教學(xué)科研,培養(yǎng)高精尖人才的重要場所。為了實驗教學(xué)和科學(xué)研究的正常開展。為滿足實驗室規(guī)范化的建設(shè),以及安全、健康、可持續(xù)的發(fā)展,推進(jìn)高校實驗室標(biāo)準(zhǔn)化建設(shè)至關(guān)重要。博泰小編帶大家了解高校實驗室安全標(biāo)準(zhǔn)化建設(shè)要求有哪些。
一、高校實驗室建設(shè)中的問題
高校實驗室具有多學(xué)科多專業(yè)、環(huán)境風(fēng)險復(fù)雜等特點,涉及化學(xué)、物理、生物、放射性等多重危害,對實驗室的安全管理技術(shù)性要求高。同時,高校實驗室承當(dāng)著教學(xué)與科研雙重任務(wù),實驗人員的流動性強,安全素養(yǎng)差異性大,對實驗室管理及人員管控要求高。
二、實驗室安全培訓(xùn)建設(shè)
1.建立實驗室安全培訓(xùn)與考核系統(tǒng)
建立實驗室安全培訓(xùn)與考核系統(tǒng),實施實驗室安全準(zhǔn)入制。設(shè)置在線培訓(xùn)、考試考核、門禁管理、日常管理等實驗管理環(huán)節(jié),對首次進(jìn)入實驗室人員進(jìn)行安全培訓(xùn),培訓(xùn)結(jié)束后通過實驗室安全準(zhǔn)入考核,才能獲得實驗室門禁權(quán),在老師指導(dǎo)下開展實驗工作。在線培訓(xùn)主要采用網(wǎng)上學(xué)習(xí),包括實驗室規(guī)安全管理制度、基礎(chǔ)實驗儀器操作規(guī)范、實驗室安全事故應(yīng)急處理、實驗室防護(hù)用具的正確使用等。
2.建立專業(yè)化的培訓(xùn)體系
不同專業(yè)實驗室培訓(xùn)應(yīng)有所不同,除需要開設(shè)安全防護(hù)用具使用、實驗操作規(guī)程、事故應(yīng)急處理、消防演練等常規(guī)安全知識培訓(xùn)外,還應(yīng)對不同專業(yè)學(xué)生和實驗人員開展專業(yè)安全培訓(xùn)。對實驗室設(shè)備管理人員要開展相關(guān)儀器使用的安全操作培訓(xùn)。
三、實驗室安全管理制度建設(shè)
1.建立實驗室準(zhǔn)入制度
加強實驗室各類人員的安全培訓(xùn)和考核,實施嚴(yán)格的實驗室安全準(zhǔn)入制度。學(xué)生通過安全培訓(xùn)和實驗室準(zhǔn)入考核,簽訂實驗室安全承諾書,獲得實驗室門禁授權(quán)后才能進(jìn)入實驗室學(xué)習(xí)或工作。實驗室外來人員也需經(jīng)過實驗室的相關(guān)安全培訓(xùn)才能進(jìn)入實驗室。安全準(zhǔn)入制度是實驗室運行管理制度的第一防線,在實驗室的安全管理上更具有主動性,在實驗室的前期工作中安全起著強有力地提醒作用。
2.建立實驗室安全責(zé)任制度
實驗室安全責(zé)任制實行“誰使用,誰負(fù)責(zé);誰主管,誰負(fù)責(zé)”的原則,從分管校領(lǐng)導(dǎo)、分管院領(lǐng)導(dǎo)、實驗室負(fù)責(zé)人到實驗室使用人,都要明確他們的實驗室責(zé)任。建立實驗室安全責(zé)任事故等級劃分細(xì)則,明確各等級責(zé)任事故的追究辦法。由學(xué)校、學(xué)院到實驗室,執(zhí)行各層安全職責(zé)并簽署安全責(zé)任書,明確實驗室所有參與者應(yīng)該承擔(dān)的實驗室安全責(zé)任和義務(wù),明確實驗室各級管理人員的安全責(zé)任。
3.建立實驗室安全檢查制度
建立學(xué)校、學(xué)院和系室三級安全檢查制度。學(xué)校在每學(xué)期開學(xué)前和期末進(jìn)行全面的實驗室安全大檢查。學(xué)院每個月抽查本學(xué)院實驗室安全狀況,法定節(jié)假日和特殊時間進(jìn)行全面安全檢查。實驗室需進(jìn)行更高頻率的安全檢查,每周或每半個月的定期檢查。安全檢查內(nèi)容主要有:安全隱患排查和整改情況;實驗室各項規(guī)章制度的落實情況;實驗室安全管理人員的在崗情況;實驗室安全文化建設(shè)及安全培訓(xùn)的落實情況;實驗室安全應(yīng)急救援設(shè)施的狀態(tài)檢測等。
四、實驗室可視化建設(shè)要求
1.實驗室安全培訓(xùn)信息化
2.實驗室安全宣傳信息化
3.安全綜合管理信息化
構(gòu)建實驗室安全信息化管理系統(tǒng),包括實驗室信息狀態(tài)管理、實驗室使用動態(tài)管理,實驗儀器設(shè)備狀態(tài)及使用管理、危化品臺賬及使用安全管理等。通過系統(tǒng)獲知各實驗室的狀態(tài)信息和安全事項,以及實現(xiàn)實驗室和儀器設(shè)備的借用預(yù)約。除實驗室安全門禁系統(tǒng)外,在關(guān)鍵實驗區(qū)域安裝高清監(jiān)控和環(huán)境檢測系統(tǒng)進(jìn)行實時監(jiān)控,方便實驗室人員實時掌握實驗室安全狀況。
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實驗室建設(shè)
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